HORIBA STEC质量流量控制器永准中国
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产品属性：
| 价格： | ￥5200 元 1 |
|---|---|
| 供货总量： | 1000 |
| 所在地： | 安徽合肥市 |
| 产品规格： | HORIBA STEC质量流量 |
| 包装说明： | HORIBA STEC质量流量控制器永准中国 |
| 品牌： | 永准 |
详细信息
HORIBA STEC质量流量控制器永准中国
| EC- (质量流量控制器) | E40/E40MK3 | E50/E50MK3 | |
|---|---|---|---|
| SEF- (质量流量计) | E40 | E50 | |
| 适用气体种类*1 | 非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) | ||
| 气体接触部材质 | SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 | ||
| 阀门型号 | 非通电时 关闭 | ||
| 标准流量量程 (N2相应F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
| 流量控制范围 (适于SEC系列) | 2?100% F.S. | ||
| 流量测量范围 (适于SEF系列) | 0?100% F.S. | ||
| 响应速度 | 1秒以内(T98) | ||
| 流量精度 | ±1% F.S. | ||
| 直线性 | ±0.5% F.S. | ||
| 反复性 | ±0.2% F.S. | ||
| 工作差压值值 (适于SEC系列) | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | ||
| 使用压力 (适于SEF系列) | 300kPa(G)以下 | ||
| 耐 压 | 1MPa(G)以下 | ||
| 外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | ||
| 使用环境温度 | 5?50℃(精度的确保：15?35℃) | ||
| 流量设定信号 | 0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S. | ||
| 流量输出信号 | 0?5VDC(最小负荷电阻2kΩ) | ||
| 驱动电源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
| 标准接头*2 | 1/4SWL 类型 | ||
HORIBA STE,,
企业信息
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